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光譜橢偏儀

發(fā)布日期：2023-11-03 瀏覽次數(shù)：560

儀器設(shè)備檔案卡


儀器名稱
光譜橢偏儀
儀器型號
SE-VM-L
生產(chǎn)廠家
武漢頤光科技
購置日期

放置地點(diǎn)
公共分析測試平臺1
儀器工作狀態(tài)
正常
技術(shù)參數(shù)

1、光譜范圍：210~1650nm；可測厚度范圍：1nm-10μm；

2、測量時(shí)間：＜15秒/次（可調(diào)），膜厚重復(fù)精度：優(yōu)于 0.005nm；折射率重復(fù)精度：0.0002；

3、入射角范圍：45-90°（5°進(jìn)步）；

4、入射角調(diào)節(jié)方式：手動變角，手動找焦。

功能特色