最大載荷: 500mN,最大深度:200um

  試樣品壓縮過程中的電阻變化。此儀器配置有高精度的載物臺(tái)和顯微鏡，可以準(zhǔn)確壓入樣品的微小區(qū)域，比如涂層，薄膜結(jié)構(gòu)，也可以準(zhǔn)確地對微球進(jìn)行壓縮實(shí)驗(yàn)。此儀器配置有快速點(diǎn)陣功能，可以實(shí)現(xiàn)樣品的大范圍壓入測試。另外此儀器還配置有Sinus模式，可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)壓入測試。